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【氟知识】八氟环丁烷市场前景广阔,国内产能不断扩张

电子特气种类繁多,含氟电子特气占比30%,据不完全统计,现有特种气体的种类达260余种,晶圆制造中硅片制造、氧化、光刻、气相沉积、蚀刻、离子注入等环节所需的电子特气种类就超过50种。电子特气对半导体器件的性能好坏起着决定性作用,与此同时,集成电路制造工艺的演变还产生了新的气体产品需求,如12寸蚀刻工艺将会更多使用高纯八氟环丁烷等特种气体,这就要求气体公司在提升其合成、纯化、分析检测、充装等技术的同时,还要紧跟下游要求可以不断研发出新品类的气体。

关于八氟环丁烷,化学式为C4F8,也称为全氟环丁烷,外观为无色气体状,无特殊气味。八氟环丁烷化学性质稳定,在常温常压下一般不与其他物质发生反应;不可燃烧,但在密闭容器中遇高热有爆炸危险;无毒,但与其他可燃物混合燃烧或者遇高热会分解,分解产物为有毒氟化氢。


八氟环丁烷下游用途广泛,随着环保要求提高,较多具有温室效应、对臭氧破坏严重的制冷剂、发泡剂、绝缘气体逐步退出市场,八氟环丁烷市场空间增大。高纯八氟环丁烷在半导体产业中可用作蚀刻剂、清洗剂,随着我国电子信息产业规模不断扩大,其需求持续增长。总的来看,我国八氟环丁烷行业发展前景广阔。

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