湿电子化学品属于电子化学品领域的一个分支，是微电子、光电子湿法工艺制程（主要包括湿法蚀刻、清洗、显影、互联等）中使用的各种电子化工材料，是超大规模集成电路、分立器件、液晶显示器、太阳能电池、LED等制作过程中不可缺少的关键性基础化工材料之一。

氟树脂具有耐腐蚀等优异性能，在发达国家湿电子化学品生产过程中已经获得了广泛应用，但国内氟树脂加工企业在该领域还有很长的路要走。

氟树脂在超高纯试剂生产中广泛应用，氟树脂材料由含氟原子的单体通过均聚或共聚反应而成，目前使用中的氟树脂品种主要有聚四氟乙烯（PTFE）、聚三氟氯乙烯（PCTFE）、聚偏氟乙烯（PVDF）、聚氟乙烯（PVF）、四氟乙烯－六氟丙烯共聚物（FEP）、乙烯－三氟氯乙烯共聚物（ECTFE）、乙烯－四氟乙烯共聚物（ETFE）和四氟乙烯－全氟烷基乙烯基醚共聚物（PFA）。在湿电子化学品生产领域应用的氟树脂主要为PTFE和PFA。

PTFE树脂占所有氟塑材料应用的70%左右，由于其独有的分子结构，使材料具有优异的耐腐蚀性，耐酸抗碱、抗大部分溶剂的特点。同时，PTFE具有耐低温和相对高温的特点，工作温度范围可达到-80℃~200℃。

氟树脂材料在与高纯化学试剂接触时，几乎没有不纯物质的溶出，且耐腐蚀性优异，具备长期使用也能保持纯度的优异特性。在应用于超净高纯化学试剂的氟树脂中，尤其以PTFE与PFA最为广泛，其耐腐蚀性更加优异，耐蚀高纯化学试剂的品种更加广泛。

在湿电子化学品生产中，

氟树脂主要用于的四大领域

（1）湿电子化学品生产中钢衬PFA/PTFE设备

钢衬PFA/PTFE设备分为塔器、罐体、管道和泵阀等，其特点在于不仅钢制容器强度高，而且在强腐蚀介质的工况下仍能保证-80℃~200℃的温度区间应用。致密的PFA/PTFE层保证其适用大部分电子化学品生产工况。

（3）湿电子化学品精馏提纯用主要内构件

PFA/PTFE管式、槽盘式分布器、复合支撑和除雾器等，这些内构件对汽液平衡、汽液均匀分布具有不可或缺的作用，特别是除沫器和除雾器的应用对雾沫夹带和微小液滴（3µm以下）起着重要作用。3µm以下的需要采用纤维除雾器去除。这也是精馏提纯电子化学品的关键步骤之一。

随着氟塑原材料生产技术和管材加工技术的提高，目前四氟管管壁厚度达到0.3～1.0mm，加之无垢下热阻，在液液、汽液传热中总传热系数比较高，总传热系数约200～300W/m2℃。与金属列管式换热器相比较，因采用毛细管，单位体积换热面积大约1.5倍，换热效率与同体积的金属换热器相当。

文章来源：中国化工信息杂志